抽真空：通過真空泵將回收車本身及SF6設備本體內的剩余氣體抽出使設備內的真空度達到要求。
國電西高GDQH-601系列SF6氣體回收裝置
回收：從SF6電氣設備中回收SF6（六氟化硫）氣體。
凈化：將回收的SF6經過多次干燥，過濾分離，達到SF6氣體凈化。
液化：將凈化后的氣體通過冷凝器處理，將氣體液化處理，儲存在回收裝置氣罐內。
充氣：對SF6設備本體內回充凈化處理后的氣體，或給運行中的電氣設備補充氣體。
儲存轉移：可對裝置本身儲存的氣體轉移至外部儲存氣罐及一個
儲氣罐轉到另一個氣罐內，滿足氣體多樣化儲存。
SF6回收裝置的工作流程：
1、當SF6從一個氣室抽出時，氣體流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻提純，在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。
2、使用真空泵把電器開關中的氣體抽除，真空泵的出口通向大氣。
3、經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，通過減壓閥的控制，直到氣室內壓力達到設定的工作壓力。
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